金融界2024年11月30日音讯,国家知识产权局信息数据显现,宁波平恒电子资料有限公司请求一项名为“一种CMP抛光液及其制备办法”的专利,公开号CN 119039885 A,请求日期为2024年9月。
专利摘要显现,本发明触及一种CMP抛光液及其制备办法,以总质量百分含量为100wt%计,所述CMP抛光液的质料包含:硅溶胶9‑11wt%,有机酸0.1‑5wt%,有机胺≤1wt%,防腐剂0.01‑0.1wt%,余量为溶剂。本发明经过挑选描摹可控的硅溶胶作为抛光介质以及环保、生物相容性好的添加剂,一起操控质料用量配比,使得CMP抛光液的研磨功能优异,且能轻松完成对不一样的资料的研磨,具有更广泛的使用场景规模和更高的挑选性;所得CMP抛光液的抛光速率挑选比较高,进一步提高了产品的功能和适用性。