金融界 2024 年 11 月 22 日音讯，国家知识产权局信息数据显现，ASM IP 私家控股有限公司请求一项名为“用于外表改性的办法、体系和设备”的专利，公开号 CN 118983263 A，请求日期为 2024 年 4 月。

  专利摘要显现，本文描绘了用于在室中支撑衬底的示例、办法、体系和设备，其间衬底包含外表，使衬底外表与室内的受激物质触摸，使衬底外表与室内的蚀刻剂物质触摸，以及响应于履行上述过程从衬底外表去除有机残余物或非有机残余物或其组合。